Fraunhofer-Gesellschaft

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Transparente Elektroden auf Kunststofffolien

 
: Fahland, M.

:

Vakuum in Forschung und Praxis 23 (2011), No.2, pp.30-34
ISSN: 0947-076X
ISSN: 1522-2454
German
Journal Article
Fraunhofer FEP ()
Kunststofffolie; Elektrode

Abstract
Transparente Elektroden spielen bereits heute in einer Vielzahl von Anwendungen eine große Rolle und werden in ihrer Bedeutung noch zunehmen.
Künftige Anwendungen werden anspruchsvoller sein in Bezug auf bessere elektrische Eigenschaften der Elektroden bei gleichzeitig niedrigeren Kosten. Heute bestehen transparente Elektroden meist aus leitfähigen Oxiden wie zum Beispiel Indium-Zinn Oxid (ITO).
Diese Materialien können von leitfähigen keramischen Targets gesputtert werden. Dazu werden die Substrate als Rollenware ins Vakuum gebracht und dort während eines kontinuierlich laufenden Umwickelvorgangs beschichtet Auf diese Weise lassen sich Elektroden bis etwa 20 Ohm-squ herstellen.
Für niedrigere Widerstände sind neue Ansätze notwendig. Meist wird die leitfähige Oxidschicht durch ein metallisches Gitter verstärkt. Dadurch lassen sich niedrigere Schichtwiderstände erreichen. Aber auch Lösungen, die völlig ohne Vakuumbeschichtung auskommen, rücken immer mehr in den Fokus des Interesses. Diese profitieren vor allem von technologischen Fortschritten bei organischen Polymeren.
Neben dem niedrigen Schichtwiderstand spielt vor allem die hohe mechanische Flexibilität der Baugruppen eine große Rolle.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-167827.html