Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Ultradünn und ultrahart

 
: Schneider, D.; Schwarz, T.

Metalloberfläche : mo 54 (2000), No.7, pp.35-40
ISSN: 0026-0797
ISSN: 0043-2792
German
Journal Article
Fraunhofer IWS ()
Ultraschall; Laser-Akustik

Abstract
Eine zuverlaessige mechanische Charakterisierung duenner Schichten ist in der Oberflaechentechnik immens wichtig, allerdings mit abnehmender Schichtdicke problematisch. Die Pruefung mit akustischen Oberflaechenwellen besitzt hier ein beachtliches Potenzial. Diese Messmethode liefert den Elastizitaetsmodul der Schicht, kann aber alternativ auch zur Bestimmung der Schichtdicke eingesetzt werden. Hierbei lassen sich Schichten mit einer Dicke von wenigen Nanometern bis in den Bereich von Millimetern pruefen.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-1677.html