Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Siliziumätzen schafft Sensibilität

 
: Baum, M.; Gessner, T.

Mikroproduktion (2007), No.1, pp.18
ISSN: 1614-4538
German
Journal Article
Fraunhofer ENAS ()

Abstract
Mit beweglichen Sensorelementen aus Silizium lassen sich kleinste Neigungswinkel genau detektieren. Die dazu nötigen Mikrostrukturen werden mithilfe moderner Ätzprozesse kostengünstig hergestellt. Dank herausragender technischer Leistungsparameter sind derartige Sensoren auch für ein breites Anwendungsspektrum geeignet.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-167646.html