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2010
Conference Paper
Titel
Hochpräzise integrierte Sensorsignalverarbeitung zur Anregung, Kalibrierung und Auswertung von MEMS-Gyroskopen
Abstract
In dieser Arbeit wird gezeigt, wie unter Verwendung der Trägerfrequenztechnik Kapazitätsänderungen eines mikromechanischen Drehratensensors im aF- Bereich sicher detektiert und in optimaler Kombination aus analogen und digitalen Schaltungselementen weiterverarbeitet werden. Ein einheitliches Design der Ausleseketten für die Detektion der Antriebsschwingung und der Detektionsschwingung bildet dabei die Grundlage für eine Signalverarbeitung mit sehr geringem Phasenfehler und damit die Basis für eine stabile Anregung und korrekte Kalibrierung.
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