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Post-CMOS MEMS integration based on novel approach with Ge micromechanics
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2011
Book Article
Titel
Post-CMOS MEMS integration based on novel approach with Ge micromechanics
Author(s)
Wang, Q.
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS
Goehlich, A.
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS
Trieu, H.-K.
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS
Hauptwerk
Fraunhofer-Institute for Microelectronic Circuits and Systems. Annual Report 2010
Language
English
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Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS