Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Lichtstarke Röntgenspiegel - Interferenz-Multischichten zwingen Röntgenstrahlen in produktive Bahnen

 
: Braun, S.; Loyen, L. von; Mai, H.; Leson, A.

Laser + Photonik (2003), No.1, pp.18-21
ISSN: 1610-3521
German
Journal Article
Fraunhofer IWS ()

Abstract
Die Extrem-Ultraviolett-Lithografie führt die Hersteller optischer Systeme an die Grenzen des Machbaren. Um Optiken in der erforderlichen Qualität fertigen zu können, müssen sie vor allem neue Messmethoden beherrschen.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-16013.html