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Reduzierung der dynamischen Deformation von Translationsspiegeln mit Hilfe von traegen Massen

Micromechanical mirror arrangement for use in Fourier-transform spectrometer, has mirror plate, which forms translational mirror and is connected to frame structure by retaining element, particularly two or multiple retaining elements
 
: Grasshoff, T.; Sandner, T.; Conrad, H.; Jung, D.

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DE 102009033191 A: 20090707
DE 102009033191 A: 20090707
G02B0026
G02B0007
B81B0003
B81B0007
G01J0003
G01B0009
G01P0015
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IPMS ()

Abstract
(A1) Mikromechanische Spiegelanordnung umfassend eine einen Translationsspiegel ausbildende Spiegelplatte (1), die ueber mindestens ein, bevorzugt ueber zwei oder mehr Halteelement(e) (2) mit einer Rahmenstruktur (3) verbunden und relativ zu dieser Rahmenstruktur translatorisch bewegbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Verbindungsbereich (4) mindestens eines, bevorzugt mehrerer, besonders bevorzugt aller Halteelemente(s) (2) mit der Spiegelplatte (1) vom Aussenrand (5) der Spiegelplatte zum Zentrum (6) der Spiegelplatte hin gesehen nach innen versetzt angeordnet ist.

 

WO 2011003404 A1 UPAB: 20110124 NOVELTY - The micromechanical mirror arrangement has a mirror plate (1), which forms a translational mirror and is connected to a frame structure (3) by a retaining element, particularly two or multiple retaining elements (2). The mirror plate is moved translationally relative to the frame structure. A connection area (4) of the retaining arranged with the mirror plate is offset inward as viewed from an outer edge (5) of the mirror plate to a center (6) of the mirror plate. USE - Micromechanical mirror arrangement for use in a Fourier-transform spectrometer, in an interferometer, particularly in a lamellar grating interferometer, in a confocal microscope, in an optical path length modulator or an acceleration sensor (Claimed). ADVANTAGE - The micromechanical mirror arrangement has a mirror plate, which forms a translational mirror and is connected to a frame structure by a retaining element, particularly two or multiple retaining elements, and thus ensures cost-effective manufacturing of the micromechanical mirror arrangement.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-159179.html