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Bestimmung der spezifischen VOC-Emissionsrate von Materialoberflächen

Vortrag auf der Reinraum-Lounge, Lounges 2011; 15.-17. Februar 2011, Karlsruhe. HygieniCon, Analytic Lounge, Facility Lounge, GMP Lounge, IPM Lounge, Outsourcing Lounge, Powder Lounge, Pharmtech Lounge, Reinraum Lounge, Wasser Lounge; Vortragssession: Normung und Richtlinien
 
: Keller, Markus

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presentation urn:nbn:de:0011-n-1583047 (1.8 MByte PDF)
MD5 Fingerprint: ba31aad403730a2a7af9cf1367889196
Created on: 22.4.2011


2011, 29 Folien
Messe "Lounges" <2011, Karlsruhe>
German
Presentation, Electronic Publication
Fraunhofer IPA ()
Reinraumtauglichkeit; VDI 2083-17; VOC Emission; Volatile Organic Compound (VOC); Ausgasung; Reinraum

Abstract
Emissionen flüchtiger organischer Verbindungen (VOC) aus Materialien in Reinraumumgebungen spielen eine immer wichtigere Rolle. Besonders Materialien mit großem Oberflächenanteil (Wände, Böden, Decken, Klimatechnik) und Materialien mit potentiell starker VOC-Emission (Dichtstoffe, Kleber, Reaktivsysteme, Lacke, Beschichtungen, Schmierstoffe) sollten deshalb vorab einer Prüfung hinsichtlich deren materialspezifischer Emissionsrate bei Raumtemperatur betrachtet werden. Dies kann durch eine Mikrokammermessung und anschließender Analytik mittels Thermodesorptions-Gaschromatographie gekoppelt mit einem Massenspektrometer (TD-GC/MS) erfolgen. Durch eine logarithmische Umrechnung der materialspezifischen Emissionsrate in eine dimensionslose Materialkennzahl wird eine einfache Vergleichbarkeit zwischen den einzelnen Materialien gewährleistet. Einige Substanzklassen werden in Halbleiterfertigungen als kritisch angesehen. Diese sind unter anderem Siloxane, Phthalate, Organophosphate und Amine. Ob die zu untersuchenden Materialien kritische Komponenten beinhalten, wird durch eine Messung bei 90 °C (total outgassing) bewerkstelligt. Das genannte Vorgehen wurde in der Richtlinie VDI 2083 Blatt 17 standardisiert und ist Bestandteil dieses Vortrages.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-158304.html