Fraunhofer-Gesellschaft

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Mobiles Probenahmesystem

Die Bestimmung luftgetragener molekularer Verunreinigungen
 
: Keller, Markus

:
Preprint urn:nbn:de:0011-n-1564669 (297 KByte PDF)
MD5 Fingerprint: 6d3c9c68e6bbbc9bf1863d1f90b9e312
Created on: 17.3.2011


ReinRaumTechnik 13 (2011), No.1, pp.42-43
ISSN: 1439-4251
German
Journal Article, Electronic Publication
Fraunhofer IPA ()
Ausgasung; Partikelemission; Partikelmesstechnik; VOC Emission; Volatile Organic Compounds (VOC); Airborne Molecular Contamination (AMC); Reinraum; emission

Abstract
Ein mobiles Probenahmesystem bestehend aus Probenahmepumpen für das personenbezogene Luftmonitoring in Verbindung mit entsprechenden TENAX TA Adsorberröhrchen ermöglicht es Anwendern, die vor Ort vorherrschenden Kontaminationen flüchtiger organischer Verbindungen (VOC) auf dem Adsorberröhrchen zu sammeln. Die spätere Analytik im Labor geschieht per Thermodesorptions-Gaschromatographie-Massenspektroskopie (TD-GC/MS). Die einzelnen VOC-Substanzen werden dabei qualitativ detektiert und anschließend quantifiziert. Eine Erweiterung des mobilen Probenahmesystems für andere Substanzen und Substanzgruppen ist individuell konfigurierbar. Als Ergebnis erhält der Anwender den TVOC-Wert verbunden mit der Aussage, ob prozesskritische Kontaminationen speziell für die Halbleiterindustrie (Amine, Organophosphate, Phthalate, Siloxane u.a.) vorhanden sind. Das mobile Probenahmesystem kann beim Fraunhofer IPA angefordert werden.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-156466.html