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2011
Journal Article
Titel
Mobiles Probenahmesystem
Titel Supplements
Die Bestimmung luftgetragener molekularer Verunreinigungen
Abstract
Ein mobiles Probenahmesystem bestehend aus Probenahmepumpen für das personenbezogene Luftmonitoring in Verbindung mit entsprechenden TENAX TA Adsorberröhrchen ermöglicht es Anwendern, die vor Ort vorherrschenden Kontaminationen flüchtiger organischer Verbindungen (VOC) auf dem Adsorberröhrchen zu sammeln. Die spätere Analytik im Labor geschieht per Thermodesorptions-Gaschromatographie-Massenspektroskopie (TD-GC/MS). Die einzelnen VOC-Substanzen werden dabei qualitativ detektiert und anschließend quantifiziert. Eine Erweiterung des mobilen Probenahmesystems für andere Substanzen und Substanzgruppen ist individuell konfigurierbar. Als Ergebnis erhält der Anwender den TVOC-Wert verbunden mit der Aussage, ob prozesskritische Kontaminationen speziell für die Halbleiterindustrie (Amine, Organophosphate, Phthalate, Siloxane u.a.) vorhanden sind. Das mobile Probenahmesystem kann beim Fraunhofer IPA angefordert werden.