Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Beschichtung großer Substrate für die Präzisionsoptik

 
: Schürmann, M.; Jobst, P.-J.; Müller, T.; Scheler, M.; Kaiser, N.

Photonik (2011), No.1, pp.18
ISSN: 1432-9778
German
Journal Article
Fraunhofer IOF ()

Abstract
Zur Verspiegelung großer und gekrümmter Substrate wurde eine Beschichtungstechnik entwickelt, mit der metallische und dielektrische Schichten separat in verschiedenen Kammern aufgebracht werden können.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-155721.html