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2002
Conference Paper
Titel
Reinraumtechnik
Alternative
Cleanroom technology
Abstract
Für die Auslegung und den Betrieb Reiner Produktionsbereiche wird ein Gesamtkonzept vorgestellt. Ausgehend von den speziellen Anforderungen an Reinstluftbereiche werden die Schwerpunkte "Reinstlufttechnik", "Reinraumkonzepte", "Qualifizieren von Reinräumen" sowie "Instand- und Reinhaltung von Reinstfertigungen" systematisch erörtert.