Fraunhofer-Gesellschaft

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Industrielle ta-C-Abscheidung mittels gepulster Vakuumbogenentladung (LAM-Technologie)

 
: Scheibe, H.J.; Leonhardt, M.; Leson, A.; Meyer, C.L.; Falz, M.; Holzherr, M.; Steinborn, K.D.

Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten e.V. -EFDS-:
Gepulste hochionisierte Plasmen - von der Grundlage zur Anwendung : Workshop; am 24. November 2010 in Dresden
Dresden, 2010
Workshop "Gepulste hochionisierte Plasmen - von der Grundlage zur Anwendung" <2010, Dresden>
German
Conference Paper
Fraunhofer IWS ()

Abstract
Bei Ausfall von Schmierung werden die Gleiteigenschaften eines Systems ausschließlich durch die Oberflächeneigenschaften der Bauteile bestimmt. Eine erhebliche Reduzierung gegenüber Hartstoffschichten (TiN, CrN) konntendurch diamantähnliche Kohlenstoffschichten (DLC) erzielt werden. Ihr schneller industrieller Einsatz wurde durch eine geringfügig modifizierte Anlagentechnik möglich. Eine neue Generation von DLC-Schichten stellen die ta-C-Schichten (tetraedrisch gebundener amorpher Kohlenstoff) dar; sie besitzen eine um einen Faktor 2-3 höhere Härte und eine höhere Verschleißfestigkeit im Vergleich konventioneller DLC-Schichten. Die Bildung der sehr harten ta-C-Schichten erfolgt beim Auftreffen hochenergetischer Kohlenstoffionen mit hoher Geschwindigkeit auf die zu beschichtende Materialoberfläche. Hochenergetische Kohlenstoffionen werden bei Auftreffen kurzer hochenergetischer Laserimpulse auf ein Graphittarget oder bei einer Bogenentladung einer Graphitkathode erzeugt. Am Fraunhofer IWS wurde ein kombiniertes Verfahren entwickelt, eine Laser-Arc-Quelle mit rotierender Kohlenstoffwalze als Kathode in einer separaten Modul-Kammer, die anstelle oder in Ergänzung klassischer Verdampferquellen (Bogen oder Sputterquelle) an jeder handelsüblichen Beschichtungsanlage angeflanscht werden kann.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-154443.html