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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Dynamic characterization of thin aluminum nitride microstructures
 
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2011
Journal Article
Title

Dynamic characterization of thin aluminum nitride microstructures

Abstract
In this work we report on the mechanical and material properties of membranes made of AlN and nanodiamond for the use in tunable micro-optics. AlN membranes with and without metal contacts have been studied in dynamic mode by laser Doppler vibrometry.
Author(s)
Knöbber, F.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF  
Bludau, O.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF  
Röhlig, C.-C.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF  
Sah, R.E.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF  
Williams, O.A.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF  
Kirste, Lutz  
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF  
Leopold, S.
Pätz, D.
Cimalla, Volker  
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF  
Ambacher, Oliver  
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF  
Lebedev, Vadim  
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF  
Journal
Physica status solidi. C  
Conference
International Symposium on Compound Semiconductors (ISCS) 2010  
DOI
10.1002/pssc.201000512
Language
German
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF  
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