Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Thermal ALD of SrTiO3 films using Sr(iPr3Cp)2 and Star-Ti

 
: Riedel, S.; Sundqvist, J.; Wilde, L.; Boitier, L.; Wilde, C.; Blasco, N.; Lachaud, C.; Zauner, A.; Michaelis, A.

Baltic ALD 2010 & GerALD 2. CD-ROM : September 16-17, 2010 Hamburg, Germany
Hamburg, 2010
pp.37
Baltic ALD Meeting (BALD) <2010, Hamburg>
German ALD Meeting (GerALD) <2010, Hamburg>
English
Poster
Fraunhofer CNT ()
ALD

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-151576.html