Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Neues modulares Anlagenkonzept für nasschemische Ätzprozesse und die Wafergalvanoformung

 
: Guttmann, M.; Kaiser, K.; Muth, S.; Moritz, M.; Schmidt, R.; Zwanzig, M.; Hofmann, L.; Schubert, I.

Galvanotechnik 100 (2009), No.11, pp.2616-2624
ISSN: 0016-4232
German
Journal Article
Fraunhofer IZM ()
Fraunhofer ENAS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-151442.html