Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Local plasma treatment in a mask aligner for selective wafer surface modification

 
: Eichler, M.; Gabriel, M.

:
Fulltext (PDF; )

Suss report (2010), April, pp.8-11
English
Journal Article, Electronic Publication
Fraunhofer IST ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-151347.html