Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

PECVD-Verfahren mit gepulster Anregung zur Abscheidung von DLC-Schichten

 
: Bewilogua, K.; Bialuch, I.; Keunecke, M.

Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten e.V. -EFDS-:
Gepulste hochionisierte Plasmen - von der Grundlage zur Anwendung : Workshop; am 24. November 2010 in Dresden
Dresden, 2010
Workshop "Gepulste hochionisierte Plasmen - von der Grundlage zur Anwendung" <2010, Dresden>
German
Conference Paper
Fraunhofer IST ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-151098.html