Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Sputtern optischer Schichten mit Rotatable-Kathoden

Partikelbelastung und Schichteigenschaften
 
: Vergöhl, M.; Rademacher, D.; Fritz, B.

Innovent e.V., Jena:
6. Thüringer Grenz- und Oberflächentage (ThGOT) und 2. Thüringer Kolloquium "Dünne Schichten in der Optik" : 7.-9. September 2010, Gera, Deutschland
Jena: Innovent, 2010
ISBN: 978-3-00-031733-0
pp.298-301
Thüringer Grenz- und Oberflächentage (ThGOT) <6, 2010, Gera>
Thüringer Kolloquium "Dünne Schichten in der Optik" <2, 2010, Gera>
German
Conference Paper
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: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-150896.html