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Mikrostruktur, Verfahren zu deren Herstellung, Vorrichtung zum Bonden einer Mikrostruktur und Mikrosystem

Microstructure for micro system, has bonding substrate and reactive multilayer system, where reactive multilayer system has surface layer of bonding substrate
 
: Baum, M.; Bräuer, J.; Gessner, T.; Hofmann, L.; Froemel, J.; Letsch, H.; Wiemer, M.

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DE 102009006822 A: 20090129
DE 102009006822 A: 20090129
B81B0001
B81B0007
B81C0003
H01L0023
H01L0021
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer ENAS ()

Abstract
(A1) Die vorliegende Erfindung betrifft eine Mikrostruktur, ein Verfahren zu deren Herstellung, eine Vorrichtung zum Bonden einer Mikrostruktur sowie ein Mikrosystem, welches aus zwei Bondsubstraten und einem zwischen den Bondsubstraten liegenden Aufbau ausgebildet ist, der ein reagiertes, reaktives Schichtsystem aufweist. Die erfindungsgemaesse Mikrostruktur weist ein Bondsubstrat und ein reaktives Mehrschichtsystem auf, wobei auf dem Bondsubstrat oder auf wenigstens einer auf dem Bondsubstrat vorgesehenen Haft- und/oder Benetzungsschicht eine abgeschiedene Lot- oder Verbindungsschicht vorgesehen ist und das reaktive Mehrschichtsystem eine auf der Lot- oder Verbindungsschicht abgeschiedene und/oder die Lot- oder Verbindungsschicht umfassende abgeschiedene Schichtfolge aus wenigstens zwei mehrfach alternierenden Nanoschichten unterschiedlicher Materialien ist.

 

WO 2010085942 A2 UPAB: 20100825 NOVELTY - The microstructure (10) has a bonding substrate (1) and a reactive multilayer system. The reactive multilayer system has a surface layer (54) of the bonding substrate with vertically aligned, interspaced nanostructures (55). Regions are provided between the nanostructures, which are filled by a material (57) that is a reaction partner for the material of the nanostructures. DETAILED DESCRIPTION - INDEPENDENT CLAIMS are also included for the following: (1) a method of producing a microstructure; (2) a device for bonding a microstructure; and (3) a micro system with two bonding substrates. USE - Microstructure for micro system (Claimed). ADVANTAGE - The microstructure has a bonding substrate and a reactive multilayer system, where the reactive multilayer system has a surface layer of the bonding substrate with vertically aligned, interspaced nanostructures, and hence ensures simple and high quality microstructure.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-148786.html