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Flexibel verschiebbare Kopplungseinrichtung fuer die akustisch angeregte Rasterkraftmikroskopie mit akustischer Anregung der Probe

Coupling device for coupling ultrasonic test head of raster force microscope used for measuring e.g. semiconductor wafer, has fluid reservoir, where spatial segment of interior space of fluid reservoir is completely filled with fluid
 
: Striegler, A.; Naumann, S.

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DE 102009008251 A: 20090202
DE 102009008251 A: 20090202
G01Q0010
G01Q0060
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IZFP, Institutsteil Dresden ( IKTS-MD) ()

Abstract
(A1) Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Kopplungseinrichtung fuer ein Rasterkraftmikroskop mit akustischer Probenanregung, umfassend einen Schallerzeuger (1), insbesondere einen Ultraschall-Pruefkopf, und ausgebildet zum Einkoppeln von mit dem Schallerzeuger erzeugten Schallwellen in einen Probenkoerper (P) zur akustischen Anregung des Probenkoerpers, die dadurch gekennzeichnet ist, dass die Kopplungseinrichtung ein in seinem Innenraum (I) mit einer Fluessigkeit (2) befuellbares und/oder gefuelltes Fluessigkeitsreservoir (3) aufweist, dass der Probenkoerper mit seiner Unterseite (U) auf dem Fluessigkeitsreservoir lateral verschieblich lagerbar ist und/oder gelagert ist, dass das zur Einkopplung der Schallwellen in den Probenkoerper ausgebildete Ende (4) des Schallerzeugers in dem Innenraum des Fluessigkeitsreservoirs angeordnet ist und/oder dass mit diesem Ende Schallwellen in den Innenraum einkoppelbar sind und dass der zwischen diesem Ende und der Unterseite des Probenkoerpers liegende Raumabschnitt des Innenraums des Fluessigkeitsreservoirs vollstaendig mit der Fluessigkeit fuellbar ist und/oder gefuellt ist.

 

WO 2010085948 A1 UPAB: 20100825 NOVELTY - The device has a fluid reservoir (3) with an interior space (I) filled with fluid (2) i.e. rain water, where a lower side (U) of a sample body is late

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-148781.html