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Vorrichtung und Verfahren zur winkelaufgeloesten Streulichtmessung

 
: Schröder, S.; Duparre, A.; Herffurth, T.; Notni, G.

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Frontpage ()

DE 102009020139 A1: 20090504
DE 102009036383 A: 20090805
G01B0011
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IOF ()

Abstract
(B3) Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur winkelaufgeloesten Streulichtmessung, umfassend eine Beleuchtungsvorrichtung mit einer Lichtquelle (1) zum Beleuchten einer Probe (6) mit Licht unter einem nicht verschwindenden Einfallswinkel (?i) sowie einen Detektor (7) zum Erfassen eines an der Probe gestreuten Anteils des Lichts und eine Auswerteeinheit (13) zum Auswerten von Ausgangssignalen des Detektors, wobei - die Beleuchtungsvorrichtung ein erstes sammelndes Linsensystem (2) und ein zweites sammelndes Linsensystem (5) sowie eine zwischen diesen Linsensystemen (2, 5) angeordnete Lochblende (3) beinhaltet, die so angeordnet sind, dass das von der Lichtquelle (1) ausgehende Licht durch das erste sammelnde Linsensystem (2) auf die Lochblende (3) fokussiert wird und ein spekular von der Probe (6) reflektierter oder ungestreut durch die Probe (6) transmittierter Anteil des von der Lochblende (3) ausgehenden und durch das zweite sammelnde Linsensystem (5) tretenden Lichts auf den Detektor (7) fokussierbar ist, - der Detektor (7) eine CMOS-Sensormatrix beinhaltet und - die Vorrichtung einen Absorber (8) umfasst, der so angeordnet ist, dass ein von dem Detektor (7) reflektierter Anteil des von der Probe (6) spekular reflektierten oder ungestreut durch die Probe (6) transmittierten und auf den Detektor fokussierten Anteils des Lichts auf den Absorber (8) trifft. Die Erfindung betrifft ferner ein entsprechendes Verfahren zur winkelaufgeloesten Streulichtmessung.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-148676.html