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2010
Journal Article
Titel
Sensing and signal conditioning at 250°C
Titel Supplements
No longer a problem due to SOI
Abstract
Für die Druckmessung direkt an der Messstelle im Auto, der Geothermie, bei Ölbohrungen, der Luft- und Raumfahrt oder der Prozesstechnik werden zunehmend oft Sensoren und Signalverarbeitungsbausteine verlangt, die Temperaturen jenseits von 150°C dauerhaft verkraften. Die hier vorgestellten Ergebnisse für Druckaufnehmer, die in einem SOI CMOS-Prozess hergestellt wurden, zeigen, dass die Messwerterfassung und Signalaufbereitung bei Temperaturen bis 250°C in Zukunft kein Problem mehr sein muss. Zusammen mit einem neuen Fügeprozess mit Glas bietet das Fraunhofer Institut (IMS) eine vollständige Lösung.
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Sensing at point of interest including harsh environments as within automobile, geothermal wells, oil drilling, aerospace, space and nuclear power or chemical process control frequently requires electronics with temperature stability beyond 150°C. The trend towards higher integration density resulting in higher power dissipation is a further reason for increasing temperature requirement.