Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Electrical and topographical characterization of aluminum implanted layers in 4H silicon carbide

 
: Rambach, M.; Bauer, A.J.; Ryssel, H.

:

Friedrichs, P.:
Silicon carbide. Vol.1 : Growth, defects, and novel applications
Weinheim: Wiley-VCH, 2010
ISBN: 978-3-527-40953-2
pp.181-204
English
Book Article
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-147424.html