Fraunhofer-Gesellschaft

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Optimierte Präparationsstrategien breitbandiger oxidischer AR-Systeme

 
: Wilbrandt, S.; Stenzel, O.; Kaiser, N.

Innovent e.V., Jena:
6. Thüringer Grenz- und Oberflächentage (ThGOT) und 2. Thüringer Kolloquium "Dünne Schichten in der Optik" : 7.-9. September 2010, Gera, Deutschland
Jena: Innovent, 2010
ISBN: 978-3-00-031733-0
pp.302-306
Thüringer Grenz- und Oberflächentage (ThGOT) <6, 2010, Gera>
Thüringer Kolloquium "Dünne Schichten in der Optik" <2, 2010, Gera>
German
Conference Paper
Fraunhofer IOF ()

Abstract
Am Beispiel breitbandiger oxidischer Antireflexbeschichtungen mittels PIAD werden optimierte Präparationsstrategien für Dünnschichtsysteme vorgestellt und diskutiert. Durch Simulation des Beschichtungsprozesses (computational manufacturing) kann bereits vor der Präparation die zu erwartende Ausbeute für die jeweilige Strategie abgeschätzt werden. Die dazu notwendigen Eingangsgrößen für die Prozesskontrolle mit Schwingquarz und dem Prozessphotometer OptiMon können experimentell ermittelt werden. Entsprechend können auch Strategien simuliert werden, bei denen beide Prozesskontrollverfahren in Kombination zum Einsatz kommen. In Verbindung mit der OptiLayer-Software kann außerdem eine automatische Fehlerkompensation durch Anpassung der Schichtdicken noch nicht abgeschiedener Schichten bei der Simulation berücksichtigt und im Experiment praktiziert werden.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-143515.html