English
Deutsch
Log In
Password Login
or
Log in with Fraunhofer Smartcard
Research Outputs
Projects
Researchers
Institutes
Statistics
Fraunhofer-Gesellschaft
Home
Fraunhofer-Gesellschaft
Konferenzschrift
Charakterisierungsmethodik für dünne Schichten im Sub-Mikrometerbereich
Details
Full
Export
Statistics
Options
2007
Conference Paper
Titel
Charakterisierungsmethodik für dünne Schichten im Sub-Mikrometerbereich
Author(s)
Wittler, O.
Mroßko, R.
Kaulfersch, E.
Wunderle, B.
Michel, B.
Hauptwerk
NanoScience 2007. Volume of abstracts
Konferenz
Conference of Advanced Science (NanoScience) 2007
Language
German
google-scholar
View Details
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM