Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Quo Vadis Media

1st Technical Conference Ultra-Pure Media, November 2-3, 1999, Dresden, Germany. Joint Media - An European Initiative in the Field of Ultra-Pure Media for the Manufacture of Semiconductors
 
: Dorner, J.
: Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart; Semiconductor Equipment and Materials International -SEMI-, San Jose/Calif.

Stuttgart, 1999, 211 pp.
Technical Conference Ultra-Pure Media <1, 1999, Dresden>
English
Conference Proceedings
Fraunhofer IPA ()
Reinsttechnik; Reinstproduktion; Reinstmedien; wafer fabrication; FAB; UHP Media; Joint Media; Halbleitertechnologie

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-142.html