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Flexibel verformbares Halteelement fuer Substrate

Flexibly deformable retaining element e.g. electrostatic retaining element, for retaining e.g. wafer, has actuator exerting compressive- and/or tractive force for expansion and constriction of recess and/or deformation of element
 
: Kalkowski, G.; Risse, S.; Peschel, T.; Damm, C.

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DE 102008052100 A: 20081008
DE 102008052100 A: 20081008
B65H0009
H01L0021
B81C0001
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IOF ()

Abstract
(A1) Die Erfindung betrifft flexibel verformbare Halteelemente fuer Substrate. Die Substrate koennen dabei an einer Oberflaeche des Halteelements elektrostatisch oder auch mittels Unterdruck fixiert gehalten werden. Aufgabe der Erfindung ist es, verformbare Halteelemente zur Verfuegung zu stellen, mit denen Substrate mittels elektrostatischer Kraftwirkung oder Unterdruck positioniert gehalten und dabei Planlageabweichungen oder unerwuenschte Verformungen einfach und sicher kompensiert werden koennen. Bei einem erfindungsgemaessen flexibel verformbaren Halteelement fuer Substrate, die elektrostatisch oder mittels Unterdruck an einer Oberflaeche gehalten sind, ist an der Rueckseite des Halteelements, die der Oberflaeche gegenueberliegt, mindestens eine an der Rueckseite angeordnete Oeffnung aufweisende Aussparung ausgebildet. Dort ist ein Druck- und/oder Zugkraefte fuer eine Aufweitung, Verengung der Aussparung und/oder Verformung des Halteelements ausuebender Aktuator angeordnet.

 

DE 102008052100 A1 UPAB: 20100428 NOVELTY - The retaining element has a recess (11) formed at a rear side (6) of the retaining element and comprising an opening arranged at the rear side, where the rear side lies opposite to a surface (5) of the retaining element. An actuator (20) exerts a compressive- and/or tractive force for expansion and constriction of the recess and/or deformation of the retaining element. The recess is designed in form of a stud hole or a slot. The actuator is designed as a mechanical element, piezoelectric element, thermo-mechanical element, and hydraullicaly or pneumatically acting element. USE - Flexibly deformable retaining element e.g. electrostatic retaining element and vacuum retaining element, for electrostatically retaining a plate shaped substrate e.g. wafer or mask, at a surface for processing semiconductor components or producing micromechanical elements. ADVANTAGE - The retaining element allows positionable retaining of the substrate at the surface by electrostatic force effect or low pressure, so that flatness deviations or undesired deformations of the substrate can be compensated in a simple and secure manner.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-139601.html