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Wirbelstromsensorarray zur zerstoerungsfreien Positionsdetektion von elektrisch leitfaehigen Objekten

Eddy current probe for use in non-conducting carrier i.e. plastic carrier of micro chip, has line coil arrangements including line coil arrays that are electrically connected with voltage source
 
: Hillmann, S.; Heuer, H.; Schulze, M.

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DE 102008056416 A: 20081107
DE 102008056416 A: 20081107
G01N0027
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IZFP, Institutsteil Dresden ( IKTS-MD) ()

Abstract
(A1) Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Wirbelstromsonde, insbesondere zur Abtastung einer Flaeche und/oder zur Positionsbestimmung von leitfaehigen Objekten (o1, o2) innerhalb der Flaeche einsetzbare Wirbelstromsonde, umfassend mindestens ein mehrere Zeilenspulenanordnungen (z1, z2, ..., zm) mit jeweils mehreren einzelnen, elektrisch in Reihe geschalteten Zeilenspulen (z1-1, ..., z1-n, z2-1, ..., zm-n) umfassendes Zeilenspulenarray (za) und mindestens ein mehrere Spaltenspulenanordnungen (s1, s2, ..., sn) mit jeweils mehreren einzelnen, elektrisch in Reihe geschalteten Spaltenspulen (s1-1, ..., s1-m, s2-1, ..., sn-m) umfassendes Spaltenspulenarray (sa), wobei mindestens eines der Zeilenspulenarrays zur zeilenweisen Anregung und mindestens eines der Spaltenspulenarrays zur spaltenweisen Anregung elektrisch mit einer Spannungsquelle (q) verbindbar sind oder verbunden sind und wobei durch zeilenweise und spaltenweise Spulenanregungen in der Wirbelstromsonde induzierte Spannungssignale messbar und bevorzugt auch zur Charakterisierung der Flaeche, insbesondere zur Positionsbestimmung der leitfaehigen Objekte innerhalb der Flaeche, auswertbar sind.

 

DE 102008056416 A1 UPAB: 20100609 NOVELTY - The probe has line coil arrangements (z1-zm) including a set of line coil arrays (za) with electrical line coils (z1-1-zm-n). One of the line coil arrays for line-by-line stimulation and split coil arrays (sa) for column-by-column stimulation are electrically connected with a voltage source (q), where a measurable voltage signal is induced in the probe by the line-by-line stimulation and column-by-column stimulation of the coils for characterizing conductive objects and/or determining the position of conductive objects within a surface. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is also included for an eddy current sampling method for sampling a surface of conductive objects and/or determining a position of conductive objects within the surface. USE - Eddy current probe for sampling a surface of electric conductive objects and/or determining a position of conductive objects within the surface in a non-conducting carrier i.e. plastic carrier of a micro chip (all claimed). ADVANTAGE - The probe is designed in such manner that the position of the electric conductive objects is determined on a non-conducting carrier in a quick and easy manner.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-139576.html