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Konferenzschrift
Unterstützung des Designprozesses für Mikrofonsensoren mit Hilfe von Finite-Elemente-Analysen
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2003
Conference Paper
Titel
Unterstützung des Designprozesses für Mikrofonsensoren mit Hilfe von Finite-Elemente-Analysen
Author(s)
Sommer, J.-P.
Wang, B.
Hauptwerk
9. GMM-Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen 2003. Tagungsband
Konferenz
Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen 2003
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM