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Konferenzschrift
Schadensanalyse an Komponenten der Mikrosystemtechnik und Mikroelektronik
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2003
Conference Paper
Titel
Schadensanalyse an Komponenten der Mikrosystemtechnik und Mikroelektronik
Author(s)
Faust, W.
Dost, M.
Michel, B.
Hauptwerk
Fortschritte in der Metallographie. Berichte der 11. Internationalen Metallographie-Tagung
Konferenz
Internationale Metallographie-Tagung 2002
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM