Fraunhofer-Gesellschaft

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Flexible Optikprüfung mit Nanopositionier-Messsystemen und interferometrischer Referenzierung

 
: Stürwald, S.; Schmitt, R.

Photonik 42 (2010), No.3, pp.46-49
ISSN: 1432-9778
German
Journal Article
Fraunhofer IPT ()
nanostrukturierter Werkstoff; optisches Meßverfahren; Interferometrie; Wellenfrontsensor; Röntgenholographie; Positionierungssteuerung; Rasterkraftmikroskop; Fokussierung

Abstract
Die permanent wachsende Anwendung refraktiver und diffraktiver Optik führt häufig zum Einsatz von Komponenten mit viele cm2 großen mikro- oder nanostrukturierten Flächen, wie z.B. in der Wellenfrontsensorik oder der Röntgen-Holographie. In der hochauflösenden Prüfung solcher Komponenten kann die Gesamtfläche bisher nur durch fehlerträchtiges Zusammenfügen (Stitchen) kleiner Messfelder erfasst werden. Die Autoren zeigen einen universellen Lösungsansatz durch Integration verschiedener Sensoren in Nanopositioniersysteme mit Messvolumina im Kubikzentimer-Bereich.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-139119.html