Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Special issue of the 8th International Workshop on High Aspect Ratio Micro Structure Technology, HARMST 2009

Editorial
 
: Achenbach, S.; Klymyshyn, D.; Michel, B.

:

Microsystem Technologies 16 (2010), No.8-9, pp.1285-1285
ISSN: 0946-7076
English
Journal Article
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-136693.html