Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Wafer-Level-Technologie für Multilagige Mikrooptikmodule

 
: Bräuer, A.; Dannberg, P.; Schreiber, P.

Photonik (2010), pp.50-52
ISSN: 1432-9778
German
Journal Article
Fraunhofer IOF ()

Abstract
Die technische Miniaturisierung erfordert zunehmend den Einsatz von Mikrooptikmodulen. An die Herstellung dieser Optiken sind jedoch je nach Einsatzgebiet bestimmt Anforderungen gestellt. Eine entsprechende Technologiekette für multilagige Mikrooptikmodule sowie einige Anwendungsbeispiele werden nachfolgend beschrieben.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-134457.html