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2010
Conference Paper
Titel
Numerische Analyse der Spannungsrelaxation nanostrukturierter sili-ziumbasierter optischer Wellenleiter zur Erzeugung nichtlinearer optischer Effekte
Abstract
Neben elektronischen Bauteilen finden SOI-basierende Komponenten aus Silizium ebenso Anwendung bei der Herstel-lung optischer Komponenten der Telekommunikationstechnik. Allerdings ist Silizium ungeeignet für optisch aktive Bau-teile, die auf der Grundlage nichtlinearer Licht-Materie-Wechselwirkung basieren. Durch das Einbringen einer Dehnung bzw. eines Dehnungsgradienten im Material lässt sich dieser Nachteil jedoch aufheben. Ziel der vorgestellten Arbeit ist die strukturmechanische Auslegung von verspannten optischen Silizium-Streifenwellenleiten sowie Mikroresonatoren, um mit Hilfe eines Dehnungsgradienten der zu einer Brechung der Inversionssymmetrie im Silizium führt, nichtlineare optische Effekte zu erzeugen. Aufgrund der im Herstellungsprozess notwendigen Strukturierungen treten Relaxationser-scheinungen der Komponenten auf, welche das Dehnungsfeld beeinflussen. Folgend werden Möglichkeiten zur Modifi-kation des im Wellenleiter resultierenden Dehnungsfeldes vorgestellt.
Konferenz