Fraunhofer-Gesellschaft

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Laserbasierte Herstellung und Funktionalisierung von Multi-Elektroden-Arrays

Laser-based manufacturing und functionalization of multi-electrode arrays
 
: Schröter, A.; Sonntag, F.; Bussek, A.; Rabenau, M.; Klotzbach, U.; Ravens, U.; Poll, R.

Gerlach, G. ; Forschungsgesellschaft für Messtechnik, Sensorik und Medizintechnik e.V. -FMS-, Dresden:
9. Dresdner Sensor-Symposium 2009 : Dresden, 07.-09. Dezember 2009
Dresden: TUDpress, 2009 (Dresdner Beiträge zur Sensorik 39)
ISBN: 978-3-941298-44-6
pp.153-156
Dresdner Sensor-Symposium <9, 2009, Dresden>
German
Conference Paper
Fraunhofer IWS ()
Elektrodenarray; Oberflächenmodifizierung; physikalisches Abtragen; Laseranwendung; Laserablation; Polystyrol; Indiumzinnoxid; Bestrahlungsdauer; Impulsfolgefrequenz; sensor array

Abstract
Diese Arbeit beschäftigt sich mit der Umsetzung von Verfahren zur Oberflächenmodifikation und zum selektiven Isolationsabtrag auf Multi-Elektroden-Arrays (MEA). Für beide Verfahrensschritte wird ein Argon-Fluorid-Laser mit einer Wellenlänge von 193 nm eingesetzt. Der Isolationsabtrag wird mit Hilfe von Polymerablation realisiert. Die Isolationsschicht bestand aus einer dünnen Polystyrolschicht. Systematische Versuche mit Metall und Indiumzinnoxid als Leitschicht lieferten optimale Bestrahlungsparameter für Fluenz, Bestrahlungsdauer und Pulsfrequenz. Die Oberflächenmodifikation erfolgte unterhalb der Ablationsschwelle mit dem unfokussierten Rohstrahl unter Luftatmosphäre. Das angewendete Verfahren funktionalisiert und kontaktiert zugleich MEA-Sensoren auf Indiumzinnoxid-Basis. Die Funktion der MEA-Sensoren konnte erfolgreich topografisch, elektrisch und mit lebendem Gewebe nachgewiesen werden.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-129707.html