Fraunhofer-Gesellschaft

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Mikrostrukturierung von Glas durch Heißprägen von beschichteten Glaswafern

 
: Neugebauer, Reimund; Rüssel, C.; Edelmann, J.

Hüttentechnische Vereinigung der Deutschen Glasindustrie -HVG-; Deutsche Glastechnische Gesellschaft -DGG-, Frankfurt/Main:
Hüttentechnische Vereinigung der Deutschen Glasindustrie. Tätigkeitsbericht 2009 : Für das 89. Geschäftsjahr
Offenbach: HVG-DGG, 2009
pp.40
German
Book Article
Fraunhofer IWU ()
Glas; Glasformgebung; Heißprägen; Blankpressen; Präzisionsblankpressen; Beschichtung; Mikrofluidik; Mikrooptik; Mikrosystemtechnik; glass; glass forming; hot embossing; glass pressing; precision glass moulding; thin film; glass coating; microfluidic; micro optic; MEMS

Abstract
The micro structuring of glass by hot forming processes is economically very interesting, particularly with the production of high quantities. Applications range from micro fluidics, optoelectronics and packaging up to the solar technology. To prevent adhering problems between glass and tool the glass substrate is coated with a thin film, in contrast to the tool coating used in conventional glass pressing. Thus an uncoupling of the viscosity in the volume and the sticking behaviour at the surface can be obtained, which opens an extended temperature range for the hot embossing of glass, and permits a forming at lower viscosities.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-129648.html