Fraunhofer-Gesellschaft

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Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion

Fundamental Principles of Cleanroom Technology - Personnel in Cleanrooms - Trends in Clean Productions
 
: Gaugel, T.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Fertigen unter reinen Bedingungen. Meßtechnisches Praktikum 2000 : 16. und 17. Mai 2000, Stuttgart
Stuttgart, 2000
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Workshop) <2000, Stuttgart>
Meßtechnisches Praktikum <2000, Stuttgart>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
cleanroom; minienvironment; Partikelkonzentration; Reinraumanwendung; semiconductor; wafer; ballroom; Bekleidung; Halbleiter; Kontamination; Kosten; Personal; Produkt; Reinraumtechnik; Strömungstechnik; Teilchen

Abstract
Mehr und mehr technische Produkte, Fertigungsabläufe und -verfahren setzen ein reines Umfeld voraus, um aus technischer Sicht produzierbar zu sein sowie Qualitätsverbesserungen zu erzielen. Betrachtet werden insbesondere Kontaminationsfaktoren und -mechanismen, Luftführungen und Lufthaushalt, Personal im Reinraum sowie Trends in der Reinraumtechnik anhand verschiedener Branchen und Beispiele.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-1276.html