Fraunhofer-Gesellschaft

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Zuverlässigkeit von Komponenten der Mikrosystemtechnik durch Einbeziehung von Nanoanalytik und Nanomechanik

 
: Michel, B.; Wunderle, B.; Gollhardt, A.; Bombach, C.; Keller, J.

Dötzel, W.:
Mikro-System-Technik Chemnitz '05: Mikromechanik & Mikroelektronik : 7. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik, 26./27. Oktober 2005
Chemnitz: Technische Universität Chemnitz, 2005
ISBN: 3-00-016889-3
pp.23-25
Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Mikromechanik und Mikroelektronik <7, 2005, Chemnitz>
German
Conference Paper
Fraunhofer IZM ()

Abstract
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