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2007
Journal Article
Titel
Hochgeschwindigkeitsaufnahmen der Werkzeug- und Drahtschwingung beim US-Wedge/Wedge-Bonden
Abstract
Mit einer Hochgeschwindigkeitskamera konnte bei starker Vergrößerung die Bewegung von Werkzeug und Draht während des Ultrasonic(US)-Wedge/Wedge(W/W)-Bondens gefilmt werden. Hintergrund der Untersuchung waren Fragen, die bei der Quantifizierung des Drahtbondprozesses durch Modelle der Reinigung durch Reibung bisher ungeklärt waren [1, 2]. Damit eine Reinigung im Interface von Draht und Bondpadmetallisierung durch Reibung erfolgen kann, muss davon ausgegangen werden, dass Bondwerkzeug (Tool) und Draht - zumindest zu Beginn des Bondprozesses - formschlüssig, also fest miteinander verbunden sind und sich synchron bewegen. Dieser Sachverhalt konnte nun durch die Videoaufnahmen nachgewiesen werden.