Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Mechanische Charakterisierung membranartiger Sonsorstrukturen

 
: Winkler, T.; Seiler, B.; Dost, M.; Brokmann, G.; Übensee, H.; Rümmler, N.; Faust, W.; Sommer, J.-P.

Falter, B. ; VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-:
10. GMM-Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen 2004. Tagungsband : Mit dem Schwerpunkt Integration von Mikrosystemen - Methoden und Prozesse und den gemeinsamen Abschlussseminaren zu den BMBF-Verbundprojekten EIWOS, MODSYS, REMIKOS; 20. bis 22. Oktober 2004, Cottbus
Paderborn: FhG IZM - Advanced System Engineering, 2004
Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen <10, 2004, Cottbus>
German
Conference Paper
Fraunhofer IZM ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-120530.html