Adaptiver deformierbarer Spiegel zur Kompensation von Fehlern einer Wellenfront
Date Issued
2008
Author(s)
Bruchmann, C.
Beckert, E.
Peschel, T.
Damm, C.
Patent No
102008014615
Abstract
(A1) Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf die Realisierung eines adaptiven deformierbaren Spiegels zur Kompensation von Fehlern einer Wellenfront.