Adaptiver Spiegel und Verfahren zu dessen Herstellung

(A1) Die Erfindung betrifft einen adaptiven Spiegel auf Basis eines keramischen Substrates mit entsprechendem Reflektor und piezoelektrischen Aktoren, wobei in das Substrat eine Kuehlvorrichtung integriert ist. Ebenso betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung derartiger Spiegel. Verwendung finden die erfindungsgemaessen Spiegel fuer die Modulation bzw. Verformung einer Laserwellenfront hoher Leistung.