Mikroelektromechanischer Inertialsensor mit atmosphaerischer Bedaempfung
Date Issued
2008
Author(s)
Reinert, W.
Heller, M.
Patent No
102008016004
Abstract
(A1) Die vorliegende Erfindung betrifft einen Inertialsensor, vorzugsweise einen Beschleunigungssensor oder Mehrachsen-Beschleunigungssensor als mikroelektromechanisches Bauelement, der ein Gehaeuse mit wenigstens einer ersten gasgefuellten Kavitaet aufweist, in der zur Detektion einer zu erfassenden Beschleunigung eine erste Detektionseinheit gegenueber dem Gehaeuse beweglich angeordnet ist, wobei der Inertialsensor eine Daempfungsstruktur aufweist.