Fraunhofer-Gesellschaft

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Mikroelektromechanischer Inertialsensor mit atmosphaerischer Bedaempfung

 
: Reinert, W.; Heller, M.

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DE 102008016004 A: 20080327
DE 102008016004 A: 20080327
G01P0015
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer ISIT ()

Abstract
(A1) Die vorliegende Erfindung betrifft einen Inertialsensor, vorzugsweise einen Beschleunigungssensor oder Mehrachsen-Beschleunigungssensor als mikroelektromechanisches Bauelement, der ein Gehaeuse mit wenigstens einer ersten gasgefuellten Kavitaet aufweist, in der zur Detektion einer zu erfassenden Beschleunigung eine erste Detektionseinheit gegenueber dem Gehaeuse beweglich angeordnet ist, wobei der Inertialsensor eine Daempfungsstruktur aufweist.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-118989.html