Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Mittels aerostatischer Lagerelemente gefuehrter Tisch fuer Vakuumanwendung

 
: Schubert, G.; Jackel, C.; Kirschstein, U.; Boehm, M.; Schenk, C.; Risse, S.; Harnisch, G.; Peschel, T.; Bauer, R.

:
Frontpage ()

DE 102008019681 A: 20080411
DE 102008019681 A: 20080411
F16C0032
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IOF ()

Abstract
(A1) Es wird ein mittels aerostatischer Lagerelemente gefuehrter Tisch fuer Vakuumanwendung mit einer gestellfesten Tragstruktur und einer in x- und y-Richtung ueber Schlitten bezueglich der gestellfesten Tragstruktur verschiebbaren Tischplatte vorgeschlagen. Die Schlitten sind mit den aerostatischen Lagerelementen zur Fuehrung versehen, die mit Zufuhrleitungen zum Zufuehren und Absaugleitungen zum Abfuehren des zum Betrieb der Gaslager erforderlichen Gases verbunden sind. Die Absaugleitungen umfassen mindestens eine laengen-veraenderliche Leitungsanordnung, die ein erstes und ein zweites Rohrelement aufweist, die beruehrungslos ineinandertauchen, wobei zwischen den Rohrelementen mindestens ein Dichtspalt vorgesehen ist.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-118963.html