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Gassensor und Verwendung eines Gassensors

Gas sensor for analyzing gas composition, has excitation device comprising optical fiber realized on substrate and optically connecting excitation light source with adjacent surroundings of mechanical micro-resonator
 
: Heidrich, H.; Luetzow, P.; Schlaak, W.; Venghaus, H.; Wegner, T.

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Frontpage ()

DE 102008047658 A: 20080912
DE 102008047658 A: 20080912
G01N0021
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer HHI ()

Abstract
(B3) Die Erfindung betrifft einen Gassensor mit einem mechanischen Mikroresonator, der eine Anregungsvorrichtung zum optischen Anregen einer mechanischen Schwingung des Mikroresonators sowie eine Auslesevorrichtung zum Detektieren der Schwingung des Mikroresonators aufweist, wobei die Auslesevorrichtung einen zusammen mit dem Mikroresonator auf einem dielektrischen oder halbleitenden Substrat (1) realisierten Wellenleiter (7, 7') zum optischen Auslesen der Schwingung des Mikroresonators umfasst und wobei die Anregungsvorrichtung einen auf demselben Substrat (1) realisierten Lichtwellenleiter (5) aufweist, der eine Anregungslichtquelle (6) optisch mit einer unmittelbaren Umgebung des Mikroresonators verbindet. Die Erfindung betrifft ferner eine Verwendung eines solchen Sensors zum Analysieren einer Gaszusammensetzung.

 

DE 102008047658 B3 UPAB: 20100214 NOVELTY - The sensor has a mechanical micro-resonator comprising an excitation device for optical excitation of mechanical oscillation of the resonator. A selection device detects the oscillation, and has wave guides (7, 7') for optical selection of the oscillation of the resonator. The wave guides are realized together with the resonator on a dielectric or semiconductor substrate (1) of silicon. The excitation device has an optical fiber (5) realized on the substrate and optically connecting an excitation light source (6) i.e. LED such as laser diode (8), with a proximate surroundings of the resonator. USE - Gas sensor for analyzing a gas composition (claimed). ADVANTAGE - The wave guides, the micro-resonator and the optical fiber are realized on the substrate, thus realizing a compact and insensitive assembly of the gas sensor, permitting analyzing of gas composition in the surroundings such as medical examination arrangements, with strong electrical fields and explosive or easily flammable medium, and preventing misalignment of the sensor with the excitation device and the selection device while reducing adjustment complexity.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-118867.html