Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

XUV interference lithography for sub-10 nm patterning

 
: Danylyuk, S.; Juschkin, L.; Brose, S.; Bergmann, K.; Loosen, P.

Morgenstern, M. ; Jülich-Aachen Research Alliance for Fundamentals of Future Information Technology -JARA FIT-, Jülich:
JARA FIT Jülich-Aachen Research Alliance for Fundamentals of Future Information Technology. Annual Report 2008
Jülich: Forschungszentrum Jülich, 2009
pp.49-50
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Book Article
Fraunhofer ILT ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-114501.html