Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Nichtinvasive Bestimmung der Profilgeometrie von diffraktiven optischen Strukturen mit hohem Aspektverhältnis

 
: Ehret, G.; John, C.; Buhr, E.; Ferstl, M.; Helgert, M.; Sandfuchs, O.; Brunner, R.

DGaO-Proceedings. Online journal (2008), paper A15
https://www.dgao-proceedings.de/home/home_d.php
ISSN: 1614-8436
Deutsche Gesellschaft für Angewandte Optik (Jahrestagung) <109, 2008, Esslingen>
German
Journal Article
Fraunhofer HHI ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-113022.html