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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Elektrochemisches Strukturieren von Oberflächen mit geschlossenem elektrolytischen Freistrahl
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Fulltext urn:nbn:de:0011-n-1127665 (142 KByte PDF) MD5 Fingerprint: d053fe0ff9f5b32014197ac6958657b3 Created on: 8.4.2011 |
| Wielage, B. ; TU Chemnitz, Institut für Werkstoffwissenschaft und Werkstofftechnik: 12. Werkstofftechnisches Kolloquium und 8. Industriefachtagung Oberflächen- und Wärmebehandlungstechnik 2009 : 01.-02.10. 2009, an der TU Chemnitz Chemnitz: Technische Universität Chemnitz, 2009 (Schriftenreihe Werkstoffe und Werkstofftechnische Anwendungen 35) ISBN: 978-3-00-029007-7 pp.114-119 |
| Werkstofftechnisches Kolloquium <12, 2009, Chemnitz> Industriefachtagung Oberflächen- und Wärmebehandlungstechnik <8, 2009, Chemnitz> |
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| German |
| Conference Paper, Electronic Publication |
| Fraunhofer IWU () |
| JET-ECM; geschlossener elektrolytischer Freistrahl; electrochemical machining; Mikrostrukturierung |
Abstract
Das elektrochemische Abtragen (ECM) mit geschlossenem elektrolytischen Freistrahl (Jet-ECM) ist ein mikrofertigungstechnisches Verfahren zur Herstellung von Strukturen mit Abmessungen im Hundertstel-Millimeter-Bereich. Basierend auf lokaler anodischer Auflösung lassen sich damit dreidimensionale Mikrogeometrien sowie mikrostrukturierte Oberflächen abtragen [1,2,3]. Der wesentliche Vorteil von Jet-ECM im Vergleich zu konventionellen EC Verfahren ist, dass die abtragwirksame elektrische Stromdichte im Elektrolytstrahl lokalisiert wird. Aufgrund der hohen Strömungsgeschwindigkeiten im Elektrolytstrahl, die im Mittel über 20 m/s liegen, kann kontinuierlicher Gleichstrom verwendet werden. Dadurch werden höhere lokale Abtragraten als bei EC Prozessen, die mit gepulstem Gleichstrom arbeiten, ermöglicht. In der vorliegenden Arbeit wird die Applikation von Jet-ECM zur Fertigung von mikrostrukturierten Oberflächen und Planflächen präsentiert. Es wird gezeigt, dass unter Verwendung verschiedener Bearbeitungsstrategien die Flächenparameter Sz und Sa [4] sowie die Abtragtiefe h systematisch variiert werden können.