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Elektrochemisches Strukturieren von Oberflächen mit geschlossenem elektrolytischen Freistrahl

 
: Schubert, A.; Hackert, M.; Meichsner, G.

:
Fulltext urn:nbn:de:0011-n-1127665 (142 KByte PDF)
MD5 Fingerprint: d053fe0ff9f5b32014197ac6958657b3
Created on: 8.4.2011


Wielage, B. ; TU Chemnitz, Institut für Werkstoffwissenschaft und Werkstofftechnik:
12. Werkstofftechnisches Kolloquium und 8. Industriefachtagung Oberflächen- und Wärmebehandlungstechnik 2009 : 01.-02.10. 2009, an der TU Chemnitz
Chemnitz: Technische Universität Chemnitz, 2009 (Schriftenreihe Werkstoffe und Werkstofftechnische Anwendungen 35)
ISBN: 978-3-00-029007-7
pp.114-119
Werkstofftechnisches Kolloquium <12, 2009, Chemnitz>
Industriefachtagung Oberflächen- und Wärmebehandlungstechnik <8, 2009, Chemnitz>
German
Conference Paper, Electronic Publication
Fraunhofer IWU ()
JET-ECM; geschlossener elektrolytischer Freistrahl; electrochemical machining; Mikrostrukturierung

Abstract
Das elektrochemische Abtragen (ECM) mit geschlossenem elektrolytischen Freistrahl (Jet-ECM) ist ein mikrofertigungstechnisches Verfahren zur Herstellung von Strukturen mit Abmessungen im Hundertstel-Millimeter-Bereich. Basierend auf lokaler anodischer Auflösung lassen sich damit dreidimensionale Mikrogeometrien sowie mikrostrukturierte Oberflächen abtragen [1,2,3]. Der wesentliche Vorteil von Jet-ECM im Vergleich zu konventionellen EC Verfahren ist, dass die abtragwirksame elektrische Stromdichte im Elektrolytstrahl lokalisiert wird. Aufgrund der hohen Strömungsgeschwindigkeiten im Elektrolytstrahl, die im Mittel über 20 m/s liegen, kann kontinuierlicher Gleichstrom verwendet werden. Dadurch werden höhere lokale Abtragraten als bei EC Prozessen, die mit gepulstem Gleichstrom arbeiten, ermöglicht. In der vorliegenden Arbeit wird die Applikation von Jet-ECM zur Fertigung von mikrostrukturierten Oberflächen und Planflächen präsentiert. Es wird gezeigt, dass unter Verwendung verschiedener Bearbeitungsstrategien die Flächenparameter Sz und Sa [4] sowie die Abtragtiefe h systematisch variiert werden können.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-112766.html