Fraunhofer-Gesellschaft

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Mustererzeugung und -erfassung mit mikromechanischen Spiegeln und Spiegelarrays

 
: Lakner, H.; Dürr, P.; Schenk, H.; Gehner, A.

Eberspächer, J.:
NetWorlds. Leben und Arbeiten in vernetzten Welten. Bd.2: Fachtagungsberichte der DGBMT, GMM, GMA : VDE Kongreß 2002 ; 21. bis 23. Oktober 2002 in Dresden
Berlin: VDE-Verlag, 2002
ISBN: 3-8007-2723-4
pp.141-146 : Lit.
Kongreß Networlds <2002, Dresden>
German
Conference Paper
Fraunhofer IMS, Außenstelle Dresden ( IPMS) ()
Mustererzeugung; mikromechanischer Spiegel; Spiegelarrays; Scannerspiegel; Aktiv-Matrix-Adressierung; Torsionsspiegel; Senkspiegel; optische Bilderzeugung; Wellenfrontkorrektur; Barcode-Scanning

Abstract
Mit der Entwicklung und Markteinführung neuartiger Mikrosysteme, die optische, mechanische und elektronische Funktionalität miteinander verknüpfen, können neuartige Produkte für die Mustererzeugung und mit bislang nicht erreichten Leistungsparametern geschaffen werden. In vielen Bereichen wird die Kombination von Licht und Elektrizität als ein Universalwerkzeug der kommenden Jahrzehnte angesehen. Dabei werden sogenannte Mikro-Opto-Elektro-Mechanische Systeme (MOEMS) von entscheidender Bedeutung. Dies sind elektronisch ansteuerbare Bauelemente, die aufgrund ihrer optischen/mechanischen Funktionalität dafür sorgen, daß Licht räumlich und zeitlich moduliert werden kann. Unser Institut entwickelt zur Zeit zwei Typen von MOEMS:
+ Flächenlichtmodulatoren (Spatial Light Modulator: SLM) und
+ Mikro-Scannerspiegel (Micro Scanner Mirror: MSM)
SLMs mit einer matrixartige Struktur (Arrays) eignen sich bestens zur Erzeugung von Bildern oder Mustern, da
aufgrund der Matrixstruktur die Generierung in zeitlich paralleler Weise erfolgen kann. Hier werden Mikrospiegelarrays
für den Einsatz in der Halbleiter- Mikrolithographie (im Bereich des UV-Lichts, 248nm Wellenlänge) und für den Einsatz in der Wellenfrontkorrektur (im Bereich des sichtbaren Lichts) vorgestellt. MSMs mit einem auf einer Kippachse (oder auf einer kardanischen Aufhängung) befestigten Einzelspiegel er-möglichen eine Winkelablenkung des reflektierten Lichts in einer Richtung (oder in zwei aufeinander senkrechten Richtungen). Damit können Bilder oder (Scan-) Muster zeitlich seriell erzeugt werden. In Form von MSMs stehen mikrominiaturisierte Ablenkeinheiten (scan engines) für Licht zur Verfügung. Hier werden 1D und 2D MSMs, entwickelt für die Erfassung von Strichcodes (bar codes) und Matrixcodes, vorgestellt.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-11027.html