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2008
Journal Article
Titel
Reinraumgerechtes Anlagen- und Equipment Design / Computational Fluid Dynamics (CFD)
Abstract
Für eine steigende Anzahl von Industriebereichen ist die Produktion unter reinen Bedingungen unabdingbar. Dabei ist nicht nur die Erhöhung des Yields von Bedeutung, sondern problemlose Umsetzung von Produktionsprozessen. CFD ermöglicht schon in sehr frühen Phasen der Entwicklung eine präzise Gestaltung von reinraumgerechten Anlagen und Equipment. Die Auswahl geeigneter reinraumtauglicher Werkstoffe basiert auf langjähriger Erfahrung sowie der umfangreichen Fraunhofer-Datenbank. Darin sind Werkstoffe nach Partikelemission, Ausgasung, ESD-Eigenschaften etc. erfasst, die standardisierten Messungen unterliegen.